Х-76 Хомяк, В. В. Фізичні основи еліпсометрії [Текст] : Навч. посібник / В.В.Хомяк ; ЧНУ ім.Ю.Федьковича. - Чернівці : Рута, 2004. - 84 с. - ISBN 966-568-680-1 : 5.00 грн. Рубрики: Напівпровідники--Оптика--Радіоелектроніка Анотація: У посібнику викладено основи методу еліпсометрії, проаналізовані методика, способи математичної обробки результатів і основні помилки еліпсометричних вимірювань, описані найбільш розповсюджені схеми еліпсометрів. Для студентів і аспірантів інженерно-технічних спеціальностей вузів, а також фахівців з фізики, технології та конструювання напівпровідникових приладів. Дод.точки доступу: ЧНУ ім.Ю.Федьковича Примірників всього: 2 ВЗОФ (1), АБ (1) Свободны: ВЗОФ (1), АБ (1) |