Форма документа : Стаття із журналу Шифр видання : Назва : Кремниевые горизонты Місце публікування : CHIP. - 2002. - № 2. - С.12 Предметні рубрики: Напівпровідникові прилади-- Транзистори Ключові слова (''Вільн.індекс.''): нанотехнології--одноатомні ізолятори--закон мура