Мачулін, В.     Акустойонні та акустоелектронні технології [Текст] / В. Мачулін, Я. Лепіх, Я. Оліх, Б. Романюк // Вісник Національної академії наук України. - 2007. - № 5. - С. 3-8. - Бібліогр.: 11 назв. Рубрики: Технології--Напівпровідникові прилади    Механізація--Акустоелектронні технології Кл.слова (ненормовані): Анігіляції -- П'єзоелектрики -- Наноелектроніка Анотація: Представлено новий підхід до розв'язання проблеми керування параметрами напівпровідникових матеріалів у рамках кремнієвої технології. Виготовлення КМОН-приладів, а також проблеми управління характеристиками активних акустоелектронних пристроїв і створення датчиків нового покоління. Дод.точки доступу: Лепіх, Я.; Оліх, Я.; Романюк, Б.