Чапон, П.     Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES И TOFMS [Текст] / П. Чапон, О.К. Костенко // Наука та інновації. - 2012. - № 2. - С. 34-38 : рис. - Библиогр. в конце ст. Рубрики: Оптичне обладнання Анотація: Методи оптичної емісійної спектрометрії тліючого ВЧ-розряду Дод.точки доступу: Костенко, О.К.