Форма документа : Шифр видання : 32.844.1 /О-75 Назва : Основи планарної технології : метод. рек. до лаб. робіт Вихідні дані : Чернівці: Рута, 2004 Кільк.характеристики :30 с Колективи : ЧНУ ім.Ю.Федьковича Ціна : 0.83 грн. ББК : 32.844.1 + 32.844.1я73 + 22.379.2я73 Предметні рубрики: Технологія-- Планарна-- Інтегральні схеми-- Напівпровідники Анотація: У виданні відображено основи фізики і технології виготовлення кремнієвих інтегральних схем, процеси, які відбуваються на контакті метал-напівпровідник і електронно-діркові переходи, а також властивості і математичні моделі основних елементів інтегральних схем. Для студентів хімічних факультетів університетів. Примірники : всього : ВЗОФ(1), ВТЛ(1) Вільні : ВЗОФ(1), ВТЛ(1) Дод.точки доступу: Рюхтін, В.В. \укл.\; Годованюк, В.М. \укл.\; ЧНУ ім.Ю.Федьковича