Х-76 Хомяк, В. В. Еліпсометрія як метод дослідження та контролю тонкоплівкових шарів [Текст] : навчальний посібник / В.В.Хомяк ; ЧНУ ім.Ю.Федьковича. - Чернівці : Рута, 2005. - 62 с. - ISBN 966-568-756-5 : 3.00 грн. Рубрики: Фізика--Напівпровідники--Оптичні властивості--Оптоелектроніка Анотація: У посібнику викладено використання методу еліпсометрії для дослідження та контролю технологічних процесів напівпровідникового виробництва різних структур. Наводяться результати еліпсометричних розрахунків для найбільш розповсюджених матеріалів і тонкоплівкових структур, які використовуються в електроніці. Для студентів, аспірантів інженерно-технічних спеціальностей вузів, фахівців з фізики, технології та конструювання напівпровідникових приладів. Дод.точки доступу: чернівецький автор, але не про Чернівці (Буковину); ЧНУ ім.Ю.Федьковича Примірників всього: 1 ВЗОФ (1) Свободны: ВЗОФ (1) |